山东力冠微电子装备有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的专业装备制造企业，是中国电子专用设备工业协会会员、第三代半导体产业技术创新战略联盟副理事长单位。公司集中业内科技人才致力于为广大客户提供非标产品客制化定制服务，主要客户有国内知名研究院所、高校研究实验室及生产半导体材料的企业。

1、发展历程

山东力冠成立于2013年，同年6月正式成为中国电子专用设备工业协会会员；2018年11月，被山东省科技厅认定为“高新技术企业”；2019年3月被第三代半导体产业技术创新战略联盟评为副理事长单位；2019年9月荣获中国创新创业大赛·国际第三代半导体专业赛优胜奖。目前，该公司产值超1000万，其产品主要有晶体提拉炉、氧化/扩散炉、低压化学气相沉积设备、RTP快速退火炉、真空退火炉、真空合金炉、砷化镓晶体生长炉VGF/VB(HGF/HB) 、区熔炉、液相外延炉、蓝宝石退火炉、锑化镓晶体(LEC)单晶炉、真空炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（PECVD）、干法刻蚀设备、MOCVD、非标真空设备等，被广泛应用于半导体工艺处理设备、晶体生长设备、新材料生长设备等领域。

2、创新特点

公司技术力量雄厚，截至目前已通过授权专利30多个，其中，发明专利4个，实用新型专利17个，软件著作权14个。公司十分注重人才引进和运用，拥有各类专业技术人员，其中硕士及以上学历研发人员占比超过25%。未来，公司将继续加大研发步伐，始终把目光聚焦于高端装备需求的最前沿，致力于成为一家充满活力和潜力的高端装备供应商，为发展振兴国内半导体工艺装备，提升电子技术大国实力，贡献一己之力！